La fase di allineamento XXY, detta anche fase di allineamento UVW e fasi XYθ (theta), è progettata per applicazioni di allineamento di alta precisione. Si muove su un piano XY e ruota attorno al centro del piano XY. I termini tabella di allineamento o stadio di rotazione XY sono spesso usati in modo intercambiabile con XYθ, stadio XY-theta o stadio UVW.
Disponibili in 10 modelli, in tre gradi di precisione di livello G 2μm, livello B 5μm, livello P 10μm rispettivamente, questi modelli hanno corse lineari ± 5 mm. Inoltre, le fasi XXY possono ruotare attorno al centro del piano XY fino a ± 5 gradi a ± 2 gradi, mentre il carico orizzontale va da 10 kg a 100 kg.
Applicazione della tecnologia di allineamento di precisione
Ampia gamma di applicazioni in micro-macchine, lavorazioni ultraprecise, nanotecnologie e semiconduttori
Una tecnologia di allineamento di precisione
Motore e driver, stadio di allineamento di precisione ad alta risoluzione, telecamera CCD e scheda di acquisizione immagini, software e controllo algoritmo di elaborazione delle immagini.
Patto più importante: stadio di allineamento di precisione ad alta risoluzione.
Successivamente , introdurremo le fasi di movimento della fase di allineamento UVW / XXY sul sistema di allineamento.
Passaggio 1: il robot mantiene la lastra di vetro superiore sopra la fase di lavoro in modo che il target della lastra di vetro superiore si trovi all'interno del campo visivo CCD per determinare la posizione del target.
Passaggio 2: il robot trattiene la lastra di vetro inferiore e impedisce che venga posizionata sulla piattaforma di lavoro in modo che il target della lastra di vetro inferiore sia all'interno del campo visivo del CCD per determinare la posizione del target.
Fase 3: in base alla differenza di posizione relativa tra il target della lastra di vetro inferiore e il target della lastra di vetro superiore, l'algoritmo di elaborazione dell'immagine viene utilizzato per calcolare la quantità di movimento (X, Y, Φ) dello stadio UVW / XXY per guidare il motore movimento per rendere la lastra di vetro inferiore e la lastra superiore. La lastra di vetro è allineata con precisione.
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Fase di allineamento di precisione serie XXY:
Fase di allineamento di precisione XXY5M-01:
Palco motorizzato asse X di precisione serie GX:
Palco motorizzato asse Z di precisione serie GZ
Palco elevatore a cuneo di precisione asse serie Z GTZ:
Palco motorizzato asse XY di precisione serie GXY:
Palco motorizzato asse XYZ di precisione serie GXYZ:
Fase motorizzata con cuneo asse di precisione XYZ serie GTXYZ:
